金融界2024年12月7日讯息澳门新金沙app娱乐，国度学问产权局信息败露，拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司央求一项名为“千里积制备安装及外延膜千里积制备方式”的专利，公开号 CN 119082860 A，央求日历为2024年9月。

专利节录败露，本发明属于半导体CVD本事限度，公开了千里积制备安装及外延膜千里积制备方式，千里积制备安装包括响应腔体、固定组件、进气组件以及加热体组件，响应腔体成立有排气口，固定组件包括固定件，固定件倒悬于响应腔体内，固定件被配置为甩掉Wafer，以使Wafer的千里积面朝下；进气组件包括进气管，进气管的出口连通响应腔体内，以向响应腔体内注入响应气体；加热体组件或者对进气管输出的响应气体以及固定件固定的Wafer加热；外延膜千里积制备方式诈欺上述的千里积制备安装，将Wafer的千里积面朝下，在气违反应经过中的杂质会由于重力下跌，而不易平直落至朝下的Wafer的千里积面上，减少杂质落到Wafer名义的概率，晋升了家具良率。

本文源自：金融界

作家：谍报员